微机电系统,即Micro-Electro-Mechanical System,MEMS,其在医疗、工业等领域有着广泛的应用。本课程采用真人讲解结合动画的方式,通过对微机电系统及MEMS器件的介绍,帮助同学们掌握从事MEMS设计与研究工作的必备知识。
开设学校:清华大学;学科:工学、
微机电系统,即Micro-Electro-Mechanical System,MEMS,其在医疗、工业等领域有着广泛的应用。本课程采用真人讲解结合动画的方式,通过对微机电系统及MEMS器件的介绍,帮助同学们掌握从事MEMS设计与研究工作的必备知识。
-什么是微机电系统
--什么是微机电系统
-机电系统微型集成化的意义
-微尺度效应
--微尺度效应
-MEMS发展历史
--MEMS发展历史
-本课程学习内容与学习方法
-第一讲作业
-MEMS与半导体平面加工技术
-光刻工艺
--光刻工艺
-薄膜沉积工艺
--薄膜沉积工艺
-刻蚀工艺
--刻蚀工艺
-掺杂工艺
--掺杂工艺
-MEMS器件的加工过程
-第二讲作业
-MEMS压力传感器的工作原理
-微尺度膜片及其特性
-微尺度应变器及其特性
-应变器电阻变化的电学测量
-应变器在膜片上的布置
-一个实例及压力传感器封装问题
-第三讲作业
-MEMS麦克风的工作原理
-微尺度电容器及其特性
-准静态模型及线性化
-电容信号的检测方法
-硅微麦克风的加工及封装
-微压电式麦克风
--微压电式麦克风
-第四讲作业
-MEMS加速度计的工作原理
-微尺度的梁和弹簧
--微尺度的梁和弹簧
-MEMS压阻式加速度计
-差分电容检测方式
--差分电容检测方式
-ADXL系列加速度计
-MEMS陀螺
--MEMS陀螺
-微惯性测量组合及其应用
-第五讲作业
-静电微执行器的工作原理
-基于平行平板电容器的微执行器——弯曲式
-基于平行平板电容器的微执行器——扭转式
-基于梳状叉指电容器的微执行器
-静电微马达
--静电微马达
-第六讲作业
-压电材料与压电效应
-微系统中的压电薄膜
-微尺度压电单元的驱动特性
-压电微镜
--压电微镜
-压电微泵
--压电微泵
-第七讲作业
-微流控系统概述
--微流控系统概述
-微尺度流道与流体
--微尺度流道与流体
-微流体驱动——压差驱动
-微流体驱动——毛细管驱动
-微流体驱动——电动驱动
-芯片PCR
--芯片PCR
-第八讲作业
-讨论任务
董瑛,清华大学深圳国际研究生院副教授,工学博士。主要从事微系统技术研究,包括微加工技术,微传感器与微执行器,可穿戴医疗检测技术等。做为项目负责人已完成多项国家和省市级科研项目。曾获清华大学教学优秀奖和教学成果奖。