微电子工艺

微电子工艺是一门介绍半导体集成电路制造技术的课程,重点阐述芯片制造基本单项工艺的原理、方法和应用。介绍金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备,以及微电子工艺未来发展趋势。是电子信息类专业的核心课程。

开设学校:哈尔滨工业大学;学科:计算机、

微电子工艺课程:前往报名学习

微电子工艺视频慕课课程简介:

微电子工艺是一门介绍半导体集成电路制造技术的课程,重点阐述芯片制造基本单项工艺的原理、方法和应用。介绍金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备,以及微电子工艺未来发展趋势。是电子信息类专业的核心课程。

前往报名学习

微电子工艺课程列表:

{{'上次学习:'+learn_list['HIT08071000106-01']['last_leaf_name']}}

绪论

-1、 微电子工艺是讲什么的

--Video

-1、 微电子工艺是讲什么的--作业

-2、 微电子工艺的发展历程如何?

--Video

-2、 微电子工艺的发展历程如何?--作业

-3、 微电子工艺有什么特点?

--Video

-3、 微电子工艺有什么特点?--作业

-4、 半导体单晶硅有什么特性?

--Video

--Video

--Video

-4、 半导体单晶硅有什么特性?--作业

第一单元 硅衬底制备

-第1章 硅片制造

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

-第1章 硅片制造--作业

-第1章作业--作业

-第2章 外延

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

-第2章 外延--作业

-第2章作业--作业

第二单元 氧化与扩散

-第3章 热氧化

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

-第3章 热氧化--作业

-第3章作业--作业

-第4章 扩散

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

-第4章 扩散--作业

-第4章作业--作业

-第5章 离子注入

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

-第5章 离子注入--作业

-第5章作业--作业

-单元测验--作业

第三单元 薄膜制备

-第6章 化学气相淀积

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

-第6章 化学气相淀积--作业

-第6章作业--作业

-第7章 物理淀积

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

-第7章 物理淀积--作业

-第7章作业--作业

第四单元 光刻

-第8章 光刻工艺

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

-第9章 刻蚀技术

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

第五单元 工艺集成与封装测试

-第10章 腐蚀技术

--Video

--Video

--Video

--Video

--Video

微电子工艺开设学校:哈尔滨工业大学

微电子工艺授课教师:

田丽-副教授-哈尔滨工业大学-

田丽,副教授,佐治亚大学博士后, 主讲本科生“微电子工艺”、“微纳米技术”,国际研究生“微纳米技术”等课程,曾获黑龙江省教学成果二等奖(教材)、哈尔滨工业大学教学成果奖二等奖、何鸿燊奖教金及航院青年教师基本功竞赛3等奖。主编出版教材2本。主要从事Microfluidics以及MEMS微纳米传感器与执行器领域的科研工作。作为项目负责人主持黑龙江省自然科学基金,哈尔滨工业大学科研创新基金,航天创新基金等科研项目,参加863、及省部级科研项目研发。在国内外刊物上发表科技论文30余篇;已获批6项中国发明专利。在本课程中负责后3周视频课件制作及作业建设。

王蔚-教授-哈尔滨工业大学-

王蔚,教授级高工,博士,主讲本科生“微电子工艺”、“固态电子论”, 研究生“纳米技术”等多门课程。参与完成国家集成电路基地建设(哈尔滨工业大学)项目,负责多项校级教学建设及教学改革项目。获黑龙江省教学成果二等奖1次,哈尔滨工业大学教学成果奖2次。主编出版教材3本。发表教学文章5篇。主要从事微纳器件及系统集成技术领域的科研工作。负责及参与完成国家自然科学基金2项,863、973项目3项,部级及校级项目多项。获黑龙江省技术发明二等奖2次。发表学术论文40余篇。获得中国发明专利5项。在本课程中负责总体规划,前7周视频课件制作,以及讨论题、作业题、考试题建设。

也许你还感兴趣的课程:


  1. 抗美援朝精神(2021秋)

  2. 数据结构与算法设计(2021秋)

  3. 信息素养与终身学习(2021秋)

  4. 大学生心理健康(2021秋)

  5. 明·园境赏析:明代36佳境(2021秋)

  6. 控制工程基础(2021秋)

  7. 《论语》的智慧(2021秋)

  8. e时代的教与学——慕课引发的混合式教学(2021秋)

  9. 精细化学品生产工艺学(2021秋)

  10. 运动与关节健康(2021秋)

  11. 微电子工艺(自主模式)

  12. 学做小程序--云开发篇:近义词小程序(自主模式)

  13. 舒缓医学(2021春)

  14. 近世代数(2021春)

  15. 数学实验(自主模式)

  16. 批判性思维——方法和实践(2021春)

  17. 面向未来社会的服务设计与管理(2021春)

  18. 酒·文化(自主模式)

  19. 可视化程序设计(2021春)

  20. 秘书礼仪与职业形象(2021春)
© 柠檬大学-慕课导航 课程版权归原始院校所有,
本网站仅通过互联网进行慕课课程索引,不提供在线课程学习和视频,请同学们点击报名到课程提供网站进行学习。