微电子工艺是一门介绍半导体集成电路制造技术的课程,重点阐述芯片制造基本单项工艺的原理、方法和应用。介绍金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备,以及微电子工艺未来发展趋势。是电子信息类专业的核心课程。
开设学校:哈尔滨工业大学;学科:计算机、
微电子工艺是一门介绍半导体集成电路制造技术的课程,重点阐述芯片制造基本单项工艺的原理、方法和应用。介绍金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备,以及微电子工艺未来发展趋势。是电子信息类专业的核心课程。
-1、 微电子工艺是讲什么的
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-1、 微电子工艺是讲什么的--作业
-2、 微电子工艺的发展历程如何?
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-2、 微电子工艺的发展历程如何?--作业
-3、 微电子工艺有什么特点?
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-3、 微电子工艺有什么特点?--作业
-4、 半导体单晶硅有什么特性?
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-4、 半导体单晶硅有什么特性?--作业
-第1章 硅片制造
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-第1章 硅片制造--作业
-第1章作业--作业
-第2章 外延
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-第2章 外延--作业
-第2章作业--作业
-第3章 热氧化
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-第3章 热氧化--作业
-第3章作业--作业
-第4章 扩散
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-第4章 扩散--作业
-第4章作业--作业
-第5章 离子注入
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-第5章 离子注入--作业
-第5章作业--作业
-单元测验--作业
-第6章 化学气相淀积
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-第6章 化学气相淀积--作业
-第6章作业--作业
-第7章 物理淀积
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-第7章 物理淀积--作业
-第7章作业--作业
-第8章 光刻工艺
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-第9章 刻蚀技术
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-第10章 腐蚀技术
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田丽,副教授,佐治亚大学博士后, 主讲本科生“微电子工艺”、“微纳米技术”,国际研究生“微纳米技术”等课程,曾获黑龙江省教学成果二等奖(教材)、哈尔滨工业大学教学成果奖二等奖、何鸿燊奖教金及航院青年教师基本功竞赛3等奖。主编出版教材2本。主要从事Microfluidics以及MEMS微纳米传感器与执行器领域的科研工作。作为项目负责人主持黑龙江省自然科学基金,哈尔滨工业大学科研创新基金,航天创新基金等科研项目,参加863、及省部级科研项目研发。在国内外刊物上发表科技论文30余篇;已获批6项中国发明专利。在本课程中负责后3周视频课件制作及作业建设。
王蔚,教授级高工,博士,主讲本科生“微电子工艺”、“固态电子论”, 研究生“纳米技术”等多门课程。参与完成国家集成电路基地建设(哈尔滨工业大学)项目,负责多项校级教学建设及教学改革项目。获黑龙江省教学成果二等奖1次,哈尔滨工业大学教学成果奖2次。主编出版教材3本。发表教学文章5篇。主要从事微纳器件及系统集成技术领域的科研工作。负责及参与完成国家自然科学基金2项,863、973项目3项,部级及校级项目多项。获黑龙江省技术发明二等奖2次。发表学术论文40余篇。获得中国发明专利5项。在本课程中负责总体规划,前7周视频课件制作,以及讨论题、作业题、考试题建设。