朱煜：教师个人介绍
朱煜-教授-清华大学-
朱煜，清华大学机械工程系教授、博士生导师，IC装备重大专项实施方案编制专家组和总体专家组副组长(装备组组长)；中国机械工程学会高级会员，北京电子制造装备行业协会常务理事，《半导体学报》常务理事、编委，《仪器科学》编委。主要学术研究方向：超精密动力学系统与控制、纳米精度工程与测控技术、IC制造装备机电系统等超精密机械与测控相关科技领域。2011年获科技部“十一五国家科技计划执行突出贡献奖”，科技部“重点领域创新团队”带头人。
