王喆垚：教师个人介绍
王喆垚-教授-清华大学-
博士，教授，博士生导师。1995年和2000年分别获得清华大学学士和博士学位；2000年-2002年在清华大学微电子所从事博士后研究，2002-2003在荷兰Delft University of Technology从事博士后研究，2003年底回到清华大学微电子所工作。2003.12起任副教授，2008.12任教授。主要从事MEMS、微纳传感器、三维集成技术方面的研究。 以第一及通讯作者发表SCI收录期刊论文近70篇，国际会议论文40篇。申请国家发明专利18项。2005年被评为“北京市科技新星”，2005年入选教育部“新世纪优秀人才支持计划”。中国仪器仪表学会传感器分会理事，IEEE 高级会员。2008-2016年IEEE Sensors Conference技术委员会委员，2011-2016年中国国际半导体技术大会技术委员会委员。 2005年起单数年在清华大学开设MEMS与微系统课程，2016年开设集成微系统课程。出版“微系统设计与制造”（2015年清华大学出版社，第二版）和“三维集成技术”（2014年清华大学出版社）
