当前课程知识点：微机电系统技术及应用 > 微惯性传感器 > 微惯性测量组合及其应用 > 微惯性测量组合及其应用
关于MEMS惯性传感器我们就介绍到这里
微机电系统发展的方向之一
是集成度不断提高
集成的含义
包括微机械 微电子 微光学等系统的集成
也包括微传感器和微执行器的集成
比如我们刚才介绍的陀螺
其实就是微传感器和微执行器的集成
还有一些谐振式传感器
也需要集成微执行器
集成还包括多轴的集成
比如两轴 三轴的加速度计和陀螺
目前惯性传感器市场上一个明显的趋势
就是多种惯性传感器的集成
称为微惯性测量组合
一般包括三轴加速度计和三轴陀螺
有时还包括敏感地磁场的微磁强计
这个图中
浅蓝色是微惯性组合器件
深蓝色是分立器件
可以看到从2016年开始
微惯性组合所占的市场已经超过了分立器件
微惯性传感器不能用来做高精度测量
因为它们是基于近似线性模型的
但是由于微型化 集成化和低成本的特点
它们有更广泛的应用
比如最经典的
就是汽车安全气囊用的MEMS加速度计
这是阈值报警型应用
不需要精确定量
类似的还有防跌落 防抖动等
MEMS惯性传感器在消费电子市场
比如各种互动游戏中有广泛的应用
也被用在手机导航系统
在GPS信号丢失期间进行自主惯性导航
另外近年来很热的可穿戴设备
经常需要集成微惯性测量单元
来进行人体运动补偿
最后我们把这节课的主要内容回顾一下
我们学习了微尺度的梁和弹簧
再次学习了压阻式传感器和差分电容检测方法
了解了典型的MEMS加速度计器件
学习了MEMS陀螺的工作原理
了解了微惯性测量组合的应用
-什么是微机电系统
--什么是微机电系统
-机电系统微型集成化的意义
-微尺度效应
--微尺度效应
-MEMS发展历史
--MEMS发展历史
-本课程学习内容与学习方法
-第一讲作业
-MEMS与半导体平面加工技术
-光刻工艺
--光刻工艺
-薄膜沉积工艺
--薄膜沉积工艺
-刻蚀工艺
--刻蚀工艺
-掺杂工艺
--掺杂工艺
-MEMS器件的加工过程
-第二讲作业
-MEMS压力传感器的工作原理
-微尺度膜片及其特性
-微尺度应变器及其特性
-应变器电阻变化的电学测量
-应变器在膜片上的布置
-一个实例及压力传感器封装问题
-第三讲作业
-MEMS麦克风的工作原理
-微尺度电容器及其特性
-准静态模型及线性化
-电容信号的检测方法
-硅微麦克风的加工及封装
-微压电式麦克风
--微压电式麦克风
-第四讲作业
-MEMS加速度计的工作原理
-微尺度的梁和弹簧
--微尺度的梁和弹簧
-MEMS压阻式加速度计
-差分电容检测方式
--差分电容检测方式
-ADXL系列加速度计
-MEMS陀螺
--MEMS陀螺
-微惯性测量组合及其应用
-第五讲作业
-静电微执行器的工作原理
-基于平行平板电容器的微执行器——弯曲式
-基于平行平板电容器的微执行器——扭转式
-基于梳状叉指电容器的微执行器
-静电微马达
--静电微马达
-第六讲作业
-压电材料与压电效应
-微系统中的压电薄膜
-微尺度压电单元的驱动特性
-压电微镜
--压电微镜
-压电微泵
--压电微泵
-第七讲作业
-微流控系统概述
--微流控系统概述
-微尺度流道与流体
--微尺度流道与流体
-微流体驱动——压差驱动
-微流体驱动——毛细管驱动
-微流体驱动——电动驱动
-芯片PCR
--芯片PCR
-第八讲作业
-讨论任务
