微机电系统技术及应用课程列表：

课程概论

-什么是微机电系统

--什么是微机电系统

-机电系统微型集成化的意义

--机电系统微型集成化的意义

-微尺度效应

--微尺度效应

-MEMS发展历史

--MEMS发展历史

-本课程学习内容与学习方法

--本课程学习内容与学习方法

-第一讲作业

MEMS加工技术

-MEMS与半导体平面加工技术

--MEMS与半导体平面加工技术

-光刻工艺

--光刻工艺

-薄膜沉积工艺

--薄膜沉积工艺

-刻蚀工艺

--刻蚀工艺

-掺杂工艺

--掺杂工艺

-MEMS器件的加工过程

--MEMS器件的加工过程

-第二讲作业

微压阻式压力传感器

-MEMS压力传感器的工作原理

--MEMS压力传感器的工作原理

-微尺度膜片及其特性

--微尺度膜片及其特性

-微尺度应变器及其特性

--微尺度应变器及其特性

-应变器电阻变化的电学测量

--应变器电阻变化的电学测量

-应变器在膜片上的布置

--应变器在膜片上的布置

-一个实例及压力传感器封装问题

--一个实例及压力传感器封装问题

-第三讲作业

硅微麦克风

-MEMS麦克风的工作原理

--MEMS麦克风的工作原理

-微尺度电容器及其特性

--微尺度电容器及其特性

-准静态模型及线性化

--准静态模型及线性化

-电容信号的检测方法

--电容信号的检测方法

-硅微麦克风的加工及封装

--硅微麦克风的加工及封装

-微压电式麦克风

--微压电式麦克风

-第四讲作业

微惯性传感器

-MEMS加速度计的工作原理

--MEMS加速度计的工作原理

-微尺度的梁和弹簧

--微尺度的梁和弹簧

-MEMS压阻式加速度计

--MEMS压阻式加速度计

-差分电容检测方式

--差分电容检测方式

-ADXL系列加速度计

--ADXL系列加速度计

-MEMS陀螺

--MEMS陀螺

-微惯性测量组合及其应用

--微惯性测量组合及其应用

-第五讲作业

静电微执行器

-静电微执行器的工作原理

--静电微执行器的工作原理

-基于平行平板电容器的微执行器——弯曲式

--基于平行平板电容器的微执行器——弯曲式

-基于平行平板电容器的微执行器——扭转式

--基于平行平板电容器的微执行器——扭转式

-基于梳状叉指电容器的微执行器

--基于梳状叉指电容器的微执行器

-静电微马达

--静电微马达

-第六讲作业

压电微执行器

-压电材料与压电效应

--压电材料与压电效应

-微系统中的压电薄膜

--微系统中的压电薄膜

-微尺度压电单元的驱动特性

--微尺度压电单元的驱动特性

-压电微镜

--压电微镜

-压电微泵

--压电微泵

-第七讲作业

微流控器件

-微流控系统概述

--微流控系统概述

-微尺度流道与流体

--微尺度流道与流体

-微流体驱动——压差驱动

--微流体驱动——压差驱动

-微流体驱动——毛细管驱动

--微流体驱动——毛细管驱动

-微流体驱动——电动驱动

--微流体驱动——电动驱动

-芯片PCR

--芯片PCR

-第八讲作业

讨论

-讨论任务

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