当前课程知识点:集成传感器 > 第五章(下) > 第5节 磁电阻传感器 > 5-5-1 各向异性磁电阻
在这一节我们主要介绍
应用已经比较成熟的
各向异性磁电阻
和巨磁电阻磁传感器
下面我们介绍各向异性磁电阻
各向异性磁电阻效应
是在1857年
由W.Thomson也就是Kelvin勋爵发现的
但直到20世纪后期
由于薄膜沉积技术的进步
才得到了系统的研究
1971年亨特提出了利用AMR
也就是各向异性磁电阻
制作磁盘系统的读出磁头
到了1985年
IBM开始在他的3480磁带机上
应用磁电阻
到了1991年各向异性磁电阻
应用于硬盘
各向异性磁电阻指的是
材料的磁矩与测试电流方向
平行和垂直的时候
所测得的电阻率不相等的效应
铁磁金属和许多合金多晶体
都具有各向异性的磁电阻效应
各向异性磁电阻效应的强弱
可以用磁电阻率来表征
在这个式子中
ρ0为铁磁材料
在理想退磁状态下的电阻率
但是理想退磁状态是很难实现的
所以工程上
我们通常采用一个近似值来
计算磁电阻率
也就是这个式子中的ρav
在低温大概5K的条件下
铁和钴的各向异性磁电阻
磁电阻率大概为1%
坡莫合金也就是
镍81铁19这种合金
它的AMR为15%左右
在室温下 坡莫合金大概为2.5%
尽管AMR效应的绝对数值
并不是很大
但在目前的读出磁头
和磁传感器等领域
仍然有着非常广泛的应用
事实上 在大多数情况下
材料的磁矩与电流方向
不是绝对的平行或者垂直
而是有一个夹角θ
这个时候
各向异性磁电阻的电阻率
可以用垂直与平行状态下的
电阻率
以及夹角θ这三个参数来计算得到
为了使用方便
我们将垂直
与平行状态的电阻率差
用△ρm来表示
那么对于一个实际的磁电阻器件
外加磁场是如何影响材料的磁矩
进而改变器件的电阻的呢
首先在制作
各向异性磁电阻条的时候
就在平行于磁条的长轴方向
施加一个强磁场
建立这样一个磁条的异磁化轴
使得在没有外加磁场的情况下
磁条的磁矩平行于其长度方向
当有外加磁场作用在
磁条上的时候
外加磁场将旋转磁条的磁矩方向
如这样一个图所示
在这个图中Ha为外加磁场
如果外加磁场的方向
与磁条的异磁化轴
也就是说磁条的长轴方向
相垂直时
磁条电阻的变化
可以近似的利用
这样一个式子来计算
在这个式子中Rs为标称电阻
△ρm除以ρ为最大电阻变化率
θ为磁电阻的电流方向I
与异磁化轴之间的夹角
在这个式子的括弧中的部分
描述了外加磁场和磁条磁矩
共同对磁电阻变化的作用
其中Ha为归一化的外加磁场强度
也就是外加磁场强度
与Hk和Hb的和的比值
Hk是磁条的各向异性磁场
它与磁条的尺寸参数
和饱和磁化强度有关
可以用这个式子来描述
而Hb是磁条制作过程中
建立异磁化轴时的偏置磁场
进一步对这个比较复杂的式子
进行分析
如果我们的外加磁场强度
相对比较小
也就是归一化外加磁场
远小于1的时候
我们可以在θ等于45度的条件下
得到电阻变化的最大值
也就是这个式子
所以在制作
各向异性磁电阻的时候
需要将电流的方向
与磁条的异磁化轴方向
设定为45度
这个时候各向异性磁电阻的
电阻变化会最大
且外加磁场的强度
与电阻的变化成正比
线性度好
但是如何实现电流方向
与磁条的异磁化轴方向
也就是磁条电阻条的长度方向
呈45度角呢
工程师们想出了一个
非常巧妙的方法
看这个图
可以在磁条上
存积一系列平行的高电导率的
材料的线条
比如说金材料
这些线条与磁条的电阻长度方向
的夹角为45度
这样我们在金线条之间
获得的电流方向
将垂直于这些线条
从而达到电流方向
与磁条的长度方向呈45度的目的
另外如果金线条
与磁条的长度方向呈负的45度
那么磁电阻将往反方向变化
所以根据这样一个特点
我们可以按照这样一个图的方式
设计4个磁电阻条
并搭成惠斯顿电桥的检测电路
可以进一步提高
对磁场检测的灵敏度
和器件使用的方便性
这个图是一个典型的
各向异性磁电阻
桥式传感器的传输特性曲线
各向异性磁电阻
电阻桥的灵敏度
可以通过改变偏置磁场
调节归一化外加磁场的方法
进行调整
但是提高灵敏度以后
将使得器件的测量范围减小
这个表比较了霍尔器件和
各向异性磁电阻
两种磁传感器的特点
总体而言
两种磁传感器都可以
与集成电路工艺相兼容
都可以测量恒定的磁场
但是各向异性磁电阻
它的灵敏度会更高一些
而霍尔器件的线性度会更好一些
而且霍尔器件它并没有饱和磁场
-第1节 什么是传感器
-第2节 什么是集成传感器
-第3节 集成传感器的应用
-第4节 硅材料与半导体物理简介
-第5节 半导体器件简介
-第1节 集成力传感器
-第2节 集成压阻压力传感器
-第3节 电容式力传感器
-第二章--习题
-第1节 温度传感器简介
-第2节 硅热敏电阻
-第3节 PN结温度传感器
-第4节 双极型晶体管温度传感器
-第5节 热电传感器
-第三章--习题
-第1节 湿度传感器简介
-第2节 湿度的定义与检测方法
-第3节 多种原理的集成湿度传感器-1
-第4节 多种原理的集成湿度传感器-2
-第四章--习题
-第1节 磁传感器简介
-第2节 霍尔效应
--5-2 霍尔效应
-第3节 霍尔传感器的设计
-第4节 霍尔传感器的示例
-第五章(上)--习题
-第5节 磁电阻传感器
-第6节 磁敏二极管
-第7节 磁敏三极管
-第五章(下)--习题
-第1节 光波与光传感器简介
-第2节 光电导效应与光敏电阻
-第3节 光敏二极管和三极管-1
-第六章(上)--习题
-第4节 光敏二极管和三极管-2
-第5节 光电池
--6-5 光电池
-第6节 图像传感器
-第六章(下)--习题
-第1节 气体传感器概述
--Video
-第2节 气体传感器分类及性能指标
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-第3节 接触(催化)燃烧式气体传感器
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-第4节 电阻式金属氧化物半导体传感器
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-第5节 电化学式气体传感器
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-第6节 MOSFET型气体传感器
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-第7节 集成气体传感器实例和未来
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-第七章(下)--习题
-讨论一
-讨论二
-讨论三
-第一部分 引言与智能传感器
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-第二部分 无线传感网络、总结与展望
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-第八章--习题
-讨论一
-讨论二
-讨论三