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在介绍几种传感器的原理以后
下面我们给大家再介绍几种
典型的集成气体传感器
那么首先是TGS813
它可以用于可燃性气体检测
由FIGARO公司制作
它的敏感材料是氧化锡半导体
厚膜
那么它的特点是
第一个可以通用可燃性气体敏感
第二个就是对甲烷
丙烷 丁烷的灵敏度高
第三个就寿命长 成本低
第四个它的测试电路非常简单
这个旁边的图是一个它的外观
和内部的原理结构
那我们看看这个传感器的
电学参数
传感器的电阻值
在含有1000个ppm甲烷的
空气当中它的典型电子数
5KΩ到15KΩ
那么它的传感器的电阻的变化率
比如在3000个ppm甲烷
到1000个ppm甲烷之间
它的变化率是在0.6正负0.05
它的加热器的电阻
是在室温下的电阻值是30Ω
那么加热器的功耗是835个mW
这个功耗是比较大的
这是一个Apply Sensor
生产的一个传感器
集成传感器
那么它大家可以从这个图上看
它是在硅衬底上做的
那么传感器包括加热器
叉指电极和我们的金属氧化物
薄膜材料
那么它的这个整个芯片的大小
是在几个毫米
厚度只有1.5毫米
从这个图可以看到
从这个Side view上可以看到
这个硅它是做出了一个腔体
是为了提高它的加热器的热效率
那么旁边是它的这些
传感器的外形图
以及它的对一氧化碳的一个
测试曲线
下一个图是剑桥大学
2008年发表的一个低功耗
集成气体传感器
我们刚才看到的那个
都是好几百瓦
那么这个只有在550度的情况下
只有16mV
它的升温时间非常短
只要小于10ms
这个传感器也是做在硅衬底上
那么通过干法刻蚀
把做成一个腔体结构
那么它的整个传感器结构
也包括加热器
氧化物敏感材料
以及叉指电极
那么它所比前面的传感器
更进一步
它把旁边一些传感器的测试电路
也集成在
传感器集成在一起
旁边是它的输入图
这张图显示我们这个传感器
对于二氧化氮的一个测试曲线
那么它表示在不同的时间情况下
不同功耗下
对二氧化氮的一个反应情况
大家可以看到
在1500秒以后
那么我们这个二氧化氮
虽然在功率较低的情况下
对氮氧化物都有非常好的
一个响应
-第1节 什么是传感器
-第2节 什么是集成传感器
-第3节 集成传感器的应用
-第4节 硅材料与半导体物理简介
-第5节 半导体器件简介
-第1节 集成力传感器
-第2节 集成压阻压力传感器
-第3节 电容式力传感器
-第二章--习题
-第1节 温度传感器简介
-第2节 硅热敏电阻
-第3节 PN结温度传感器
-第4节 双极型晶体管温度传感器
-第5节 热电传感器
-第三章--习题
-第1节 湿度传感器简介
-第2节 湿度的定义与检测方法
-第3节 多种原理的集成湿度传感器-1
-第4节 多种原理的集成湿度传感器-2
-第四章--习题
-第1节 磁传感器简介
-第2节 霍尔效应
--5-2 霍尔效应
-第3节 霍尔传感器的设计
-第4节 霍尔传感器的示例
-第五章（上）--习题
-第5节 磁电阻传感器
-第6节 磁敏二极管
-第7节 磁敏三极管
-第五章（下）--习题
-第1节 光波与光传感器简介
-第2节 光电导效应与光敏电阻
-第3节 光敏二极管和三极管-1
-第六章（上）--习题
-第4节 光敏二极管和三极管-2
-第5节 光电池
--6-5 光电池
-第6节 图像传感器
-第六章（下）--习题
-第1节 气体传感器概述
--Video
-第2节 气体传感器分类及性能指标
--Video
-第3节 接触（催化）燃烧式气体传感器
--Video
-第4节 电阻式金属氧化物半导体传感器
--Video
-第5节 电化学式气体传感器
--Video
-第6节 MOSFET型气体传感器
--Video
-第7节 集成气体传感器实例和未来
--Video
--Video
-第七章（下）--习题
-讨论一
-讨论二
-讨论三
-第一部分 引言与智能传感器
--Video
-第二部分 无线传感网络、总结与展望
--Video
-第八章--习题
-讨论一
-讨论二
-讨论三
