当前课程知识点:材料学概论 > 第13讲 薄膜技术及薄膜制备技术 > 13.1 薄膜的定义和薄膜形成的必要条件 > 13.1.3 真空获得
我们讲真空蒸镀的三个必要条件
热的蒸发源和真空的环境
真空的环境
现在我们看看真空区域划分
真空区域划分
这张图是很重要的
我们一般
这个真空的区域划分
划分成五个区域
低真空 中真空
高真空 超高真空
极高真空
我们刚才讲了
你考虑真空
压力小密度低
核心在于什么
平均自由程最大
这是最关键的问题
当然我们
它的特点是什么
你看看
在低真空它的压力差小
什么粘滞大
然后
高真空是什么
它的这个真空的特征有这些
最关键的问题
对于我们来讲
最关键的问题是
平均自由程的概念
那么在平均自由程已经很大了
平均自由程已经很大了
就要考虑入射固体表面的分子
达到单分子层
所需要的时间
这一点非常重要
这一点非常重要
好 那么应用的范围之内
我们最关键的是
在我们薄膜气相沉积当中
你们看从这个图上
化学气相沉积
它是在真空度比较低的范围之内
离子镀
就是在中真空和高真空之间
那么在蒸镀过程当中
真空蒸镀
基本上在高真空和超高真空
分子数外延
就是什么
在超高真空这个范围之内
这个范围之内
把这张图弄清楚了
我们要利用
比方说低真空中真空
高真空 超高真空
极高真空
我分别利用了
真空的哪些性质
这一条非常重要
好 我们讲真空
就看真空是用什么方法获得的
获得的方式
这种获得方式
它需要什么条件
它的原理是什么
它需要什么条件
我们说机械泵
它基本上是什么
是在 你看机械泵是在
低真空和中真空这个范围之内
低真空(和中真空)
扩散泵 蒸汽喷射泵
还有干湿泵
这几种不同的方法
我列出这个
关于真空这件事
首先它工作原理是什么
第二条它的抽速和排气量
都在什么范围之内
第三条它有什么缺点
它需要什么条件
它需要什么条件
你们看这种铬气
各种泵抽速的比较
各种泵抽速的比较
从这个图上可以看到
每一种泵都有一个
最佳的工作范围
每一种泵都是有一个
最佳的工作范围
而有的是开始
低真空的时候它工作不了
到了一定的范围之内
它很棒
再高的真空度
它就干不了事了
都是这么一个范围之内
都是这么一个范围之内
有一个最佳的工作范围
注意这里边
关于泵的问题
一个叫做抽速
一个叫做排气量
抽速就是单位时间
抽出多少升气
它跟排气量是两个概念
排气量就是
有单位时间抽出多少升气
抽出多少体积气
排气量是什么
是每单位时间
抽出多少体积
再乘以压强
再乘以那个压强
排气量是单位时间
抽出多少质量气
抽速是单位时间抽出多少体积气
这两个是不同的概念
注意
第二个概念就是不同的泵
有不同的工作范围
工作范围
比方说机械泵
机械泵就是靠它一个旋片
都是偏心的
你看 都是偏心的
无论是旋片式的
还是定片式的
还是滑阀式的
都是偏心的
偏心的
它是工作原理是什么
它是抽的过程当中
你们看看最左边那个图
抽 它是在偏心的
一个滑板
一个刮板
抽的过程当中
把要抽的那个蒸汽里边那个气体
抽出一部分来
让它体积变大变大变大
变大到一定程度
这个刮板走到这边
把它封上了
封上了 再把它再抽出去
然后再利用这个刮板
再把里边的东西抽出一部分来
一部分来一部分来 再出去
再抽出一部分又出去
所以无论是悬片式的
还是定片式的 滑阀式的
它都是把什么
把被真空系统当中的
一部分空间
给它拿出来稀释
然后抽出去
把它抽出去
注意这个真空泵
一般是靠油给它密封
滑板 定片或者是滑阀
用油密封
用油密封
显然这个油会污染环境
第二条就是这种泵
它不可能真空度很高
为什么不可能真空很高
因为它总有一个死区
它有个 总有个死区
什么叫死区
就是说你给它
像我们平常盛饭一样
你盛饭的道理是什么
拿这个勺子在那饭锅里
盛出一部分来
放到碗里面去
在你回勺子的过程当中
肯定沾着点饭
你又回去了
你放在勺子里边
把勺子再盛饭的时候
它有一些个剩饭
它又回去了
每一次都是这样
每一次都是这样
所以每一次你弄出一部分来
它还有一部分要回去
还有一部分要回去
它里边有一个死空间
因此
真空度不可能很高
不可能很高
一般
这种油封机械泵的
极限真空度
都是10的负2次方帕
10的负2次方帕以上
就是有困难了
那什么意思
机械泵在那空转
空转过程当中
你真空度上不去
真空度上不去
好 你们看看它这个
油封机械泵就是这样子
它有一个死区
注意 有一个死区
由于这两个圆
它不是完全
它是一个偏心的
是个大圆里边
套着一个小圆
那个小圆的
它的接触点只是一点
只是一点
你出了这个接触点以后
都有两个小缝
这个小缝就是死区
这个死区
这个小缝里边
存在着一些气体
在你咬第二勺的时候
它就回去了
因此这个机械泵
它不可能抽得很高
真空度
那么抽速比较大的
就是扩散泵
就是扩散泵
注意 这个扩散泵的工作原理
它是靠喷流的作用
蒸发 冷凝 蒸发 冷凝
蒸发 冷凝这么循环的一个过程
循环的过程
你们看最右边这个图
底下一个电炉
这个电炉
把油通过中心蒸发出去
蒸发出去以后
它就靠这个散状的这个盖
使这个蒸发的蒸汽
往下喷射 往下喷射
喷射到什么
喷射到四壁的
这个水冷的壁上
水冷的壁上
这个油就会凝聚下来
凝聚下来
凝聚下来 再加热
所以它是个循环过程
用一个电炉把油蒸发上去
喷射下来
靠壁的冷却变成油
油完了以后
又蒸发上去
这么循环过程
我们知道当这个油的
喷射速度很高的时候
它的气压会降低
靠这个气压的作用
降低的作用
把带抽空间里边
这个气体
给它抽出来
还有一种说法
就是扩散的作用
因为这个油
向四周扩散
那么带抽空间里边气体分子
扩散到油里边
被油里边再带下来
再带下来
那么这个什么
这个扩散泵
它可以抽到很高的真空度
达到多少
达到10的负5次方负6次方帕
非常高
一般用的10的负次方帕了
但是它有一个缺点
是什么
它不能直接从大气来进行抽
为什么不能在大气当中抽
两个原因
在大气当中抽
它的抽速很低
第二条 最重要
这个油要加热
要加热到几百度的油
在大气环境当中
油很快氧化
一氧化
它就没有抽速了
因此这个扩散泵
一定跟机械泵
它是一个什么 综合泵
机械泵第一级
它是第二级
机械泵第一级
它是第二级
因此在设计刚才当中
一定要机械泵
跟这个扩散泵要匹配起来
不能小马拉大车
也不能大马拉小车
这个要匹配起来
否则就是机械的浪费
功率的浪费 电的浪费
这些都是不合适的
我们一般的大批量的
这个制膜的过程
往往就是机械泵加上扩散泵
在工业上大量应用的
就是机械泵加这个扩散泵
这个扩散泵
它是一个廉价的 高效的
获得真空的办法
因此在工业当中
大量的应用
好 还有一个涡轮分子泵
涡轮分子泵也是一个干湿泵
它的特点是什么
它的特点是抽速比较高
它达到的极限真空度
比扩散泵更要高
它也是一个不能从
大气当中直接
它也是一个刺激泵
前边得有一个泵
前边得有泵做它的前极
那么涡轮分子泵的特点
就是转速非常高
转速非常高
利用它的这个
这个叶轮的这种冲击作用
或者是离心力的作用
使这个气体分子
甩出来 甩出来
它的缺点是什么
价钱很贵
有一定的噪音
另外价钱
价钱比较贵 结构比较复杂
有一定的噪音
一般是在高质量要求的
薄膜沉积当中
用涡轮分子泵
比方在科研过程当中用到
-1.1 材料的定义和分类,选择材料的标准
-1.1 材料的定义和分类,选择材料的标准--作业
-1.2 材料的作用
--1.2.7 “制造材料者制造技术”,材料可以“以不变应万变”
-1.2 材料的作用--作业
-1.3 材料科学与工程四面体
-1.3 材料科学与工程四面体--作业
-1.4 材料与创新
--1.4.2 “9.11事件”世贸大厦垮塌和“3.11大地震”福岛核事故都涉 及材料
-1.4 材料与创新--作业
-本讲作业--作业
-2.1 元素在周期表中的位置决定于其核外电子排布
--2.1.3 原子的核外电子排布(1)——量子数和电子轨道
--2.1.4 原子的核外电子排布(2)——电子排布的三个准则
-2.1 元素在周期表中的位置决定于其核外电子排布--作业
-2.2 元素周期表反映元素的规律性
--2.2.1 核外电子排布的应用(1)——碳的sp3、sp2、sp杂化
--2.2.2 核外电子排布的应用(2)——四面体键的奇妙之处
--2.2.3 核外电子排布的应用(3)——电子授受及元素氧化数变化
--2.2.4 核外电子排布的应用(4)——过渡族元素和难熔金属
-2.2 元素周期表反映元素的规律性--作业
-2.3 过渡族元素、稀土元素和镧系元素
-2.3 过渡族元素、稀土元素和镧系元素--作业
-本讲作业--作业
-3.1 材料性能与组织结构的关系
-3.1 材料性能与组织结构的关系--作业
-3.2 从轨道能级到能带——绝缘体、导体和半导体
-3.2 从轨道能级到能带——绝缘体、导体和半导体--作业
-本讲作业--作业
-4.1 高炉炼铁和转炉炼钢
-4.1 高炉炼铁和转炉炼钢--作业
-4.2 金属材料的组织结构
-4.2 金属材料的组织结构--作业
-4.3 铸锭及其组织
-4.3 铸锭及其组织--作业
-本讲作业--作业
-5.1 金属材料的加工
-5.1 金属材料的加工--作业
-5.2 钢材的热处理
--5.2.4 钢的淬火(quenching)(1)——加热和急冷的选择
--5.2.5 钢的淬火(quenching)(2)——增加淬透性和防止淬火开裂
-5.2 钢材的热处理--作业
-5.3 钢的强化机制
--5.3.6 合金钢(2)——高速钢、不锈钢、弹簧钢和轴承钢
-5.3 钢的强化机制--作业
-本讲作业--作业
-6.1 粉体材料的性能
--6.1.1 粉体及其特殊性能(1)——小粒径和高比表面积
--6.1.2 粉体及其特殊性能(2)——易流动性和高分散性
--6.1.3 粉体及其特殊性能(3)——低熔点和高化学活性
--6.1.4 粉体的特性及测定(1)——粒径和粒径分布的测定
--6.1.5 粉体的特性及测定(2)——密度及比表面积的测定
--6.1.6 粉体的特性及测定(3)——折射率和附着力的测定
-6.1 粉体材料的性能--作业
-6.2 粉体的加工与处理
-6.2 粉体的加工与处理--作业
-6.3 粉体的应用
--6.3.3 粉体精细化技术——粒度精细化及粒子形状的改善
-6.3 粉体的应用--作业
-6.4 纳米材料
-6.4 纳米材料--作业
-本讲作业--作业
-7.1 陶瓷材料的定义和分类
-7.1 陶瓷材料的定义和分类--作业
-7.2 坯体成型
--7.2.2 陶瓷成型工艺(1)——旋转制坯成型和注浆成型
--7.2.3 陶瓷成型工艺(2)——干压成型、热压注成型和等静压成型
--7.2.4 陶瓷成型工艺(3)——挤压成型、注射成型和流延成型
-7.2 坯体成型--作业
-7.3 陶瓷烧结
-7.3 陶瓷烧结--作业
-7.4 陶瓷材料的结构
-7.4 陶瓷材料的结构--作业
-7.5 结构陶瓷
--7.5.1 结构陶瓷及应用(1)——Al2O3和Zr02
--7.5.2 结构陶瓷及应用(2)——TiO2、BeO和AlN
-7.5 结构陶瓷--作业
-7.6 功能陶瓷
--7.6.4 功能陶瓷及应用(3)——微波器件、传感器和超声波马达
-7.6 功能陶瓷--作业
-本讲练习--作业
-8.1 玻璃的发展简史
-8.2 玻璃的定义和特征
-8.3 玻璃的加工
-8.1-8.3 小节练习--作业
-8.4 建筑及高铁用玻璃
--8.4 建筑及高铁用玻璃--作业
-8.5 高技术玻璃
-8.5 高技术玻璃--作业
-本讲练习--作业
-9.1 何谓高分子和聚合物
-9.1 何谓高分子和聚合物--作业
-9.2 聚合物的合成
-9.2 聚合物的合成--作业
-9.3 从结构层次看聚合物
-9.3 从结构层次看聚合物--作业
-本讲练习--作业
-10.1 高分子材料性能与加工
--10.1.8 聚合物的成形加工及设备(1)——压缩模塑和传递模塑
--10.1.9 聚合物的成形加工及设备(2)——挤出成型和射出成型
--10.1.10 聚合物的成形加工及设备(3)——塑料薄膜和纤维丝制造
-10.1 高分子材料性能与加工--作业
-10.2 胶粘剂和涂料
-10.2 胶粘剂和涂料--作业
-本讲练习--作业
-11.1 复合材料的定义和分类
-11.1 复合材料的定义和分类--作业
-11.2 增强材料和基体材料
-11.2 增强材料和基体材料--作业
-11.3 复合材料的应用
-11.4 天然复合材料
-11.5 生物材料
-11.3-11.5 节练习--作业
-本讲练习--作业
-12.1 磁性的来源
--12.1.2 过渡金属元素3d壳层的电子结构与其磁性的关系
-12.1 磁性的来源--作业
-12.2 磁性材料的分类
-12.2 磁性材料的分类--作业
-12.3 磁畴和磁滞回线
-12.3 磁畴和磁滞回线--作业
-12.4 软磁材料与硬磁材料
-12.4 软磁材料与硬磁材料--作业
-本讲练习--作业
-13.1 薄膜的定义和薄膜形成的必要条件
-13.1 薄膜的定义和薄膜形成的必要条件--作业
-13.2 薄膜制备——PVD法
-13.2 薄膜制备——PVD法--作业
-13.3 薄膜制备——CVD法
-13.3 薄膜制备——CVD法--作业
-13.4 薄膜的加工
--13.4.2 反应离子刻蚀(RIE)和反应离子束刻蚀(RIBE)
-13.4 薄膜的加工--作业
-13.5 薄膜材料的应用
-13.5 薄膜材料的应用--作业
-本讲作业--作业



