当前课程知识点:材料学概论 > 第13讲 薄膜技术及薄膜制备技术 > 13.2 薄膜制备——PVD法 > 13.2.3 溅射镀膜
下边我们讲
物理气相沉积的第三个
就是关于溅射镀膜
溅射镀膜我已经讲了
溅射镀膜已经讲了
就是离子轰击靶的表面
使这个靶原子溅射出来
溅射出来沉积在表面上去
现在这个溅射镀膜
它有一些特有的问题
是什么特有的问题
就是当靶材不一样的时候
入射靶的能量不一样的时候
它溅射产额是不一样的
注意看右边的第二个图
发生溅射的抑制能量
什么叫发生溅射的抑制能量
就是说当离子
你轰击这个靶的时候
你小于几十电子伏
它一个原子也溅射不出来
当你超过比方说
二三十四五十的电子伏的时候
它就出来了
当你出来以后
随着你入射离子的能量的提高
它会逐渐增加的
这是跟溅射原子的规律性
当然你离子溅射这个靶的表面
会产生好多现象
二次电子
被溅射的原子反射
还有注入
同时还可以反映什么
中性的原子
正的离子负的离子
产生光产生气体
什么解析什么这些
我们这里所关心的是什么
被溅射出来的原子产生多少
被溅射出的产生多少原子出来
这是关于入射的
第二个问题给靶的
就是靶的原子序数不一样
它有规律性的
同样是靶键 氩气溅射
同样是氩气溅射吧
氩气溅射你看看从这个图上
有的溅射产额就很少
什么叫溅射产额
每注入一个
一个入射的离子
出来几个被溅射的原子
叫做溅射产额
它的溅射产额绝大部分都小于1
有比1还大
哪些比1还大
金 银 箔 钯 贵金属
它都比较高
相反那些碳 硼
那些原子序数小的
它就有一定的规律性
第三个问题要讨论的是什么
就是溅射原子
注意这是三个方面
一个是从入射的离子考虑
第二个是被溅射的靶的
在元素周期表当中的位置考虑
第三被溅射出来的原子
它的能量分布和角分布这上面
被溅射的原子是多少
发现什么
跟这个入射原子的
入射离子的能量关系不太大
它有一个分布
它的最佳分布是多少
是在10个电子束左右
被溅射出来原子的能量
是在10个电子束左右
那说明什么问题
它的能量比真空浓度要高
我真空浓度不是讲了吗
它是二分之三KT
二分之三KT
就是零点几个电子伏
它是什么
最佳分布是多少
是10个电子伏
也就是说从道理上讲
溅射出来的原子的能量
是比真空真度的原子的能量要高
当然还一个角分布了
它角分布不是个余弦分布
这个就是
看 可以看有关的资料
它的各种方法都有了
二级溅射三级溅射磁控溅射
对象靶溅射什么ERC溅射
什么绝缘体进行溅射
等等方法很多
这里边我要讲对绝缘体溅射
那绝缘体它是个绝缘体
你靶继续溅射往上走走
它就带电了
一带电你再想离子再碰它
它不行了
因为它带电了
为了解决这个问题就采取射频的
我射频的 射频怎么意思
你不是带电了我放电
你正的
我在负的过程当中你溅射
溅射到一定程度那个了
我要一会儿变负的了
它就把电放了
放完了以后我再溅射
积累到一定电荷我再放电
放电完了再溅射
绝缘体也可以溅射
这个图就是下边所解释的
对绝缘体也可以进行溅射
你看这是关于这个磁控靶
关于这个磁控靶的问题
-1.1 材料的定义和分类,选择材料的标准
-1.1 材料的定义和分类,选择材料的标准--作业
-1.2 材料的作用
--1.2.7 “制造材料者制造技术”,材料可以“以不变应万变”
-1.2 材料的作用--作业
-1.3 材料科学与工程四面体
-1.3 材料科学与工程四面体--作业
-1.4 材料与创新
--1.4.2 “9.11事件”世贸大厦垮塌和“3.11大地震”福岛核事故都涉 及材料
-1.4 材料与创新--作业
-本讲作业--作业
-2.1 元素在周期表中的位置决定于其核外电子排布
--2.1.3 原子的核外电子排布(1)——量子数和电子轨道
--2.1.4 原子的核外电子排布(2)——电子排布的三个准则
-2.1 元素在周期表中的位置决定于其核外电子排布--作业
-2.2 元素周期表反映元素的规律性
--2.2.1 核外电子排布的应用(1)——碳的sp3、sp2、sp杂化
--2.2.2 核外电子排布的应用(2)——四面体键的奇妙之处
--2.2.3 核外电子排布的应用(3)——电子授受及元素氧化数变化
--2.2.4 核外电子排布的应用(4)——过渡族元素和难熔金属
-2.2 元素周期表反映元素的规律性--作业
-2.3 过渡族元素、稀土元素和镧系元素
-2.3 过渡族元素、稀土元素和镧系元素--作业
-本讲作业--作业
-3.1 材料性能与组织结构的关系
-3.1 材料性能与组织结构的关系--作业
-3.2 从轨道能级到能带——绝缘体、导体和半导体
-3.2 从轨道能级到能带——绝缘体、导体和半导体--作业
-本讲作业--作业
-4.1 高炉炼铁和转炉炼钢
-4.1 高炉炼铁和转炉炼钢--作业
-4.2 金属材料的组织结构
-4.2 金属材料的组织结构--作业
-4.3 铸锭及其组织
-4.3 铸锭及其组织--作业
-本讲作业--作业
-5.1 金属材料的加工
-5.1 金属材料的加工--作业
-5.2 钢材的热处理
--5.2.4 钢的淬火(quenching)(1)——加热和急冷的选择
--5.2.5 钢的淬火(quenching)(2)——增加淬透性和防止淬火开裂
-5.2 钢材的热处理--作业
-5.3 钢的强化机制
--5.3.6 合金钢(2)——高速钢、不锈钢、弹簧钢和轴承钢
-5.3 钢的强化机制--作业
-本讲作业--作业
-6.1 粉体材料的性能
--6.1.1 粉体及其特殊性能(1)——小粒径和高比表面积
--6.1.2 粉体及其特殊性能(2)——易流动性和高分散性
--6.1.3 粉体及其特殊性能(3)——低熔点和高化学活性
--6.1.4 粉体的特性及测定(1)——粒径和粒径分布的测定
--6.1.5 粉体的特性及测定(2)——密度及比表面积的测定
--6.1.6 粉体的特性及测定(3)——折射率和附着力的测定
-6.1 粉体材料的性能--作业
-6.2 粉体的加工与处理
-6.2 粉体的加工与处理--作业
-6.3 粉体的应用
--6.3.3 粉体精细化技术——粒度精细化及粒子形状的改善
-6.3 粉体的应用--作业
-6.4 纳米材料
-6.4 纳米材料--作业
-本讲作业--作业
-7.1 陶瓷材料的定义和分类
-7.1 陶瓷材料的定义和分类--作业
-7.2 坯体成型
--7.2.2 陶瓷成型工艺(1)——旋转制坯成型和注浆成型
--7.2.3 陶瓷成型工艺(2)——干压成型、热压注成型和等静压成型
--7.2.4 陶瓷成型工艺(3)——挤压成型、注射成型和流延成型
-7.2 坯体成型--作业
-7.3 陶瓷烧结
-7.3 陶瓷烧结--作业
-7.4 陶瓷材料的结构
-7.4 陶瓷材料的结构--作业
-7.5 结构陶瓷
--7.5.1 结构陶瓷及应用(1)——Al2O3和Zr02
--7.5.2 结构陶瓷及应用(2)——TiO2、BeO和AlN
-7.5 结构陶瓷--作业
-7.6 功能陶瓷
--7.6.4 功能陶瓷及应用(3)——微波器件、传感器和超声波马达
-7.6 功能陶瓷--作业
-本讲练习--作业
-8.1 玻璃的发展简史
-8.2 玻璃的定义和特征
-8.3 玻璃的加工
-8.1-8.3 小节练习--作业
-8.4 建筑及高铁用玻璃
--8.4 建筑及高铁用玻璃--作业
-8.5 高技术玻璃
-8.5 高技术玻璃--作业
-本讲练习--作业
-9.1 何谓高分子和聚合物
-9.1 何谓高分子和聚合物--作业
-9.2 聚合物的合成
-9.2 聚合物的合成--作业
-9.3 从结构层次看聚合物
-9.3 从结构层次看聚合物--作业
-本讲练习--作业
-10.1 高分子材料性能与加工
--10.1.8 聚合物的成形加工及设备(1)——压缩模塑和传递模塑
--10.1.9 聚合物的成形加工及设备(2)——挤出成型和射出成型
--10.1.10 聚合物的成形加工及设备(3)——塑料薄膜和纤维丝制造
-10.1 高分子材料性能与加工--作业
-10.2 胶粘剂和涂料
-10.2 胶粘剂和涂料--作业
-本讲练习--作业
-11.1 复合材料的定义和分类
-11.1 复合材料的定义和分类--作业
-11.2 增强材料和基体材料
-11.2 增强材料和基体材料--作业
-11.3 复合材料的应用
-11.4 天然复合材料
-11.5 生物材料
-11.3-11.5 节练习--作业
-本讲练习--作业
-12.1 磁性的来源
--12.1.2 过渡金属元素3d壳层的电子结构与其磁性的关系
-12.1 磁性的来源--作业
-12.2 磁性材料的分类
-12.2 磁性材料的分类--作业
-12.3 磁畴和磁滞回线
-12.3 磁畴和磁滞回线--作业
-12.4 软磁材料与硬磁材料
-12.4 软磁材料与硬磁材料--作业
-本讲练习--作业
-13.1 薄膜的定义和薄膜形成的必要条件
-13.1 薄膜的定义和薄膜形成的必要条件--作业
-13.2 薄膜制备——PVD法
-13.2 薄膜制备——PVD法--作业
-13.3 薄膜制备——CVD法
-13.3 薄膜制备——CVD法--作业
-13.4 薄膜的加工
--13.4.2 反应离子刻蚀(RIE)和反应离子束刻蚀(RIBE)
-13.4 薄膜的加工--作业
-13.5 薄膜材料的应用
-13.5 薄膜材料的应用--作业
-本讲作业--作业



