当前课程知识点:创新材料学 > 半导体和集成电路材料 > 第一讲 集成电路与硅晶圆 > 储存器IC(DRAM)和逻辑LSI的进展
我们看 第二节
我们讲 集成电路的发明
因为我这个讲义是前两年写的了
那现在 已经近60年了
我们首先 这一节讲
半导体集成电路的功能
及 按规模的分类
那么从存储器到CPU
到系统的大规模集成电路
存储器IC按功能的分类 等等这些
我们这一步的话
主要是讲 集成电路的分类
我们集成电路 按材料来分类
按材料和结构来分类
那么集成电路有硅
半导体的集成电路
有化合物半导体的集成电路
如果按照结构来分呢
我们刚才讲了
有双极性型的
有MOS型的
MOS型里边的话
有n沟道型的 有p沟道型的
有COMS型的
那么如果是按照它的工作方式
有数字型的有模拟型的
那么半导体集成电路的功能
及按规模的分类
是二十世纪八十年代以前的了
八十年代以前的
咱们现在进展非常迅速
当然历史上有这个过程
我也把它介绍一下
半导体元件有主动元件有被动元件
那么这个主动元件呢
又称能动元件
国内习惯又称作有元元件
它这个特点是什么呢
具有使电器信号放大
变换等积极的功能元件
比如三极管和二极管
我觉得叫主动元件比较科学
或者叫做能动元件
主动元件比较科学
那么叫有源元件的话不太科学
这个有源元件和无源元件
主要是由过去那个电工学来的
用在电子学
叫有源元件 无源元件不太科学
应该叫主动元件
或者叫做能动元件
被动元件又叫做受动元件
国内习惯称无源元件
用于储存电荷等
在IC电路中起受动作用的元件
主要是电阻电感电容
那么能动元件或者主动元件
是什么呢
它具有什么功能
有放大变频
等等这些功能
如果集成电路过去
按集成度的大小怎么分呢
就是每一个IC上它的元件数
分小规模集成电路
中规模集成电路
大规模集成电路
超大规模集成电路
极大规模集成电路
这是过去
因为现在集成度远远超过
目前一个芯片的元件数
甚至超过60个G
现在250G 256G呀 一个T
这都有了
与集成度按几何基数增长相比
表征栅长和线宽的特征尺寸
又叫设计标准
能更直观的反映技术进步
与工艺难度
故现在一般按生产线的特征尺寸
表征产业化的水平
注意我们集成电路它的发展水平
特别是产业化的水平
已经不用过去的传统的
集成度来表示
而是什么呢
而是用特征线宽
或者叫做设计标准
特征线宽设计标准
就是我们刚才讲的那个栅长
栅的长度
那么为什么要用
你看我写的这个
表征栅长和线宽的特征尺寸
设计基准更能直观反映
技术进步和工艺难度
故现在一般按照生产线的
特征尺寸表示
我有120纳米的
我是60纳米的
我是32纳米的
24纳米的 16 18纳米的等等这些
现在的话一般是按照
这个特征线宽来表示
这是为什么呢
为什么呢
正如现在
我们第三章
我们还要讲平板显示器
正如我们平板显示器
表征它的产业化的规模和水平
用什么呢
用玻璃 玻璃极板的尺寸
或者叫做代
现在进入第8代了
8.5代了 10代了等等这些
用代来表示
而不用图象分辨率
什么其他参数来表示
注意你半导体集成电路的话呢
用特征线宽
来表示它的产业化的水平
平板显示器的
产业化的水平的话呢
用玻璃极板的尺寸
或者叫做代 世代来表示
这是为什么呢
我觉得它有道理在这里边
它道理在什么呢
因为它的特征线宽
表示它的就是特征线宽
你要达到这种特征线宽的元器件
最能反映你的技术水平
这是第一条
第二条的话呢
你的关键设备你的价钱
主要是什么呢
你能适应这个线宽
不适应这个线宽
如果你提高一极或者提高一代
提高两代提高三代
那么你的关键设备的价钱
就不只增加一倍增加两倍
几倍 甚至十倍 数十倍的
这个关系
这是第二条
第一是代表它的产业化的水平
技术水平
第二的话呢
它的关键设备的价钱
第三个它是反映什么呢
反映它的用途
你0.25微米的
和190纳米的和160纳米的
和120纳米的
它用户是不一样的
它的用户是不一样的
包括你现在比方说
你这个便携
什么iphone ipad这些
你必须需要什么呢
需要这个集成度比较高的
你轻薄短小嘛
要高集成化嘛 要多功能嘛
所以这三条我再说一遍
第一条技术水平
第二条关键设备
其中包括它的价格
第三步的话呢
它针对的用户是不一样的
因此我们用这个特征线宽
或者设计基准表示
目前半导体产业
它的产业化的技术水平
那么从存储器到CPU
系统大规模集成电路
它的分类
我们知道IC
我们讲IC
我们一提IC的话呢
就是它用到哪些方面
用到哪些方面
好 那么用到哪些方面呢
这里边我这个四大类
这四大类
一个是存储器
一个是微处理器
一个是ASIC
还有一个是系统的
实际上我们生产的集成电路
这个IC芯片
我们用途的话呢
主要是用在这几个地方
一个是逻辑电路
第二是存储器
第三是模拟电路
第四光电器件
还有什么呢
还有这个传感器件
分立元件等等
这都属于大规模集成电路里边
它的应用的
我这个图里边的话呢
讲了这几部分
当然第一部分是逻辑电路
逻辑电路存储器微处理器
微处理器当中有MPU有MCU
还有的话 微处理器周边的IC
实际上的话我们待加工的
待加工的工厂
生产很多的是ASIC
ASIC的话呢
就是说用户
用户定制型的
或者特定用户型的这种IC
你比方说我搞一个
什么家用电器
我搞一个什么
什么器件
这个东西这个用户
跟半导体芯片厂家
共同享有这个知识产权
我把这个理念
或者我把设计
给这个芯片厂家
芯片厂家再加工
再加工完了我用
把这种的叫做ASIC
那么这里边又有用户制定型的
又有特定用户型的
用户定制型的是门阵列型
标准单元阵列型
还有其他
还有全用户制定型的
还有特定用户型的
包括数字式荧幕用
图象处理用等等其他
那么再有一个的话就是系统
系统IK
多媒体处理器 怎么
等等这些
我们从这个IC的用途呢
就可以看出
它应用到各个领域当中去
应用到各个领域当中去
用于哪些领域呢
比方说用在计算机
包括平板电脑便携的
平板电脑
包括电视机
包括家用电器的控制
包括汽车等等
应用到各个方面
应用到各个方面
那么我们现在看看存储器
存储器的话呢
按功能地分类
按功能地分类
有易失性的
有不易失性的
那么易失性的
不易失性的
我们看看不易失性的话呢
就是说我依次存储到里边去
再也不能变化
一次写入再也不能变化了
那么这里边的话呢有
有各种
不易失性的
有掩膜ROM
等等 这些
那么易失性的话呢
有静态的 有动态的
那么动态的话呢
就是不断地刷新
不断地给它
不断地给它储存
不断地给它储存
如果你不储存的话呢
它就消失了
这里边呢
这个缩写这是随机存取存储器
第二个呢
DRAM是什么呢
是动态随机存储器
SRAM呢是静态随机存储器
ROM是代表只读存储器
就是说我给它存进去
我只读它
不会改变它
还有的紫外线可擦除的
电器可擦除的
还有快闪存储器等等这些
那么集成电路的话
都涉及到这些方面的
看这个图上讲的存储器
我们这讲的存储器
还有逻辑电路
还有用户制定型的这种电路
无论是哪种电路当中
都会用到各种各样的材料
因为器件要进步的话呢
也涉及到各种各样的材料
我现在就是拿这个DRAM
它的电容结构发生变化
既然是存储器
你得存在哪儿嘛
你得存在哪儿
我们这个存储器的话呢
有字线和位线
有字线有位线
中间交叉点的地方的话呢
是个电容
这个信号就存在这个电容里面
所以随着集成度的增加
随着集成度的增长
这个电容的话呢
它会占的面积或者占体积
你要想变小
我们知道平板电容器
平板电容器它的电容量
等于什么呢
跟它的介电常数成正比
跟谁成正比呢
跟这个平板电容的面积成正比
跟它的距离成反比
那么意思说
你要想容量比较大的话
你这个面积就必须得比较大
面积大 存储容量才比较高
我们怎么变呢
我们怎么
要在很小的体积
很小的面积上来增加电容
存储电容的容量呢
采取什么办法
这就是一个是从结构上想办法
另外一个从材料上想办法
那么结构上想办法是什么呢
你比如说过去是采取的
平面型的电容器
平面型的电容器
显然占体积很大
占体积很大
我们要采取 想办法呢
采取叠容
叠层型的电容器的结构
叠层 一层一层叠起来
增加它的面积
沟道型的
沟槽型电容器的结构C图
D图呢是沟槽内
在叠层的电容器的结构
注意我想办法
或者是你这个D图
就相当于挖一个井
挖一个双壁的井
C图的话呢
往下边挖一个井
B图的话呢
像戴一个帽子
在这上边戴一个帽子
戴两层戴三层戴四层等等
这是在结构上想办法
那么除了结构上想办法
必须在材料上想办法
增加什么呢
那个ε
把这个相对介电常数
给它提高
相对介电常数给它提高
提高到多少
提高到你比如说
一般的电容器用这个氮化钛
它20几的介电常数
我可以用其他的材料的话呢
给它提高到几千上万
这样的话呢
它的面积 体积就会变的很小
随着集成度的增加
对材料的要求
是越来越高的
就是我们讲的这个电容器的
这部分
看看图
第一个图呢是沟槽型的
储存单元
沟槽型的储存单元
注意储存单元
下边打一个井
那么电容器的电极
看的出来一个电极
那么电容膜
注意这个电容膜我采取什么呢
在结构上下边打个井
它的电容膜的话呢
增加它的介电常数
就可以增加电容器的电容量
那么底下是一个叠层型的
储存单元
我给它叠起来
一层两层三层
但是无论采取什么结构
想办法增加电容层的
电容膜的那个介电常数
是提高电容的一个有效手段
所以这个材料你看看
它起的作用是非常非常大的
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