当前课程知识点:创新材料学 > 微电子封装和封装材料 > 电子封装及分类方法 > 一级封装工艺(1)
好 我下面具体讲一级封装工艺
要讲引线键合方式及连接结构
金丝引线键合的工艺过程
倒装芯片凸点的形成过程
利用FCB的连接方式
这是具体的引线键合的方式
这个图画得很清楚
那么中间这是芯片
芯片里边这是铝电极
你看这是铝电极
这是铝丝或者金丝
这个叫做焊盘有的叫焊垫
焊盘叫做焊垫
那么这是什么 金丝
把金丝接在引线框架上
这是早期的
把它装在基板上或者衬底上
我们引线键合的连接方式
你们看引线键合的连接方式
这是布线电极
那么这是基板这是基板
那么你看这是芯片了
芯片上有铝电极
通过铝电极要形成键合点
通过金属丝给它连接过来
它是这么个过程
那么要做这种引线键合
要一般要用引线键合机
你们看它过程第一是注意
这有一个管状的压头
这是金属丝 金丝
金丝大概是几十个微米
35微米的金丝或者是铝丝
金丝或者是铝丝
这是个送丝压头
它是管状的送丝压头 往下走
送丝压头
另外第一是要通过打弧的办法
设备上有要打弧
在金丝打出一个小球出来
打出一个小球出来
送丝压头就往下压
压在什么
电极上压在电极上
完成第一次键合
完成第一次键合
送丝压头
就带着丝往前走
走到这个地方
引在电极上
要金丝打弧
你看打弧打完了弧二次键合
二次键合把金丝切断
那么金丝切断以后
完成一个点的键合
然后上边去再去打弧
打完了弧
键合第一个点 送丝
第二个点键合
键合完了以后给它断开
断开完了又打弧去
它是这么个过程
在这个过程当中关键是
我采取键合的过程当中
键合的过程当中注意
它采取的是什么办法
又是超声焊
有超声焊 热压焊 超声热压焊
三种
一般铝丝用的是超声焊
那么金丝用的是热压焊
或者是超声热压焊
三种
那么我刚才讲了
用的金丝的直径
铝丝的直径
大概是35个微米左右
那么实际上当然了你超声焊
它对整体并不加热
就是在超声焊的过程当中
有一定的温度
但是这个温度
也远低于铝丝的熔点
它为什么就能焊接上
它为什么
铝丝在铝的上面
它就能焊接得上
它道理是在地方
因为我们学材料科学的都知道
金和铝都是面心立方的
面心立方它很容易滑移
它的滑移系统很多很容易滑移
那么注意铝膜表面
会形成一个氧化膜
如果不用超声焊
直接把金丝或者铝丝
在这上面要是连接
你根本压不上压不上
因为它有个表面氧化膜
这氧化膜是很致密的
但是我们通过超声波
在你送丝压头压的这一刹那
使什么
因为它是面心立方的
它很容易发生塑性变形
发生塑性变形它这产生滑移
它这一产生滑移
金一产生滑移或者铝一产生滑移
它就会在底下
电极的铝表面上的那个氧化膜
它就给它蹭破了
一蹭破了话就露出新的金属来了
露出新的金属当然没有表面
没有表面氧化膜的金属物
很容易跟金形成铝金共熔
它的熔点比较低
就连接在一块了
铝也是这样的
采用的是超声焊热压焊
或者超声热压焊
可以实现什么
很牢固的连接很牢固的连接
一定是什么 它发生塑性变形
把表面的氧化膜
给它蹭破了
使新鲜的铝露出来了
才得以焊接在一块去
那么下个
下边我要讲的对于倒装芯片
对于凸点的表面要进行处理
我们刚才使它
在wire bonding的时候
你看wire bonding的时候不要做处理
直接是铝电极就可以了
铝电极铝电极就可以了
因为刚才靠它的塑性变形
把金丝或者铝丝连接在上面去
把它叫做wire bonding
很方便
但是对于倒装芯片来讲
对于倒装芯片来讲
底下凸点是个铝电极
铝电极如果直接
铝电极如果直接跟
印制电路板上
铜箔或者是什么相连接
肯定是连接不上的
它不可能连接上
因为也没有给它变形
露不出新的金属来
它表面上有氧化膜
你氧化膜
怎么贴在印制电路板上铜箔上
不行的
所以对于倒装芯片来讲
无论是TAB来讲还是FPC来讲
必须对芯片表面的铝电极
进行处理
要搞一个凸点下金属层
凸点下金属层
使铝电极过渡
过渡到什么
能焊接的一个金属
谁能焊接
焊料能焊接
金能焊接
焊料跟
焊料当然你
那边是焊锡或者是焊膏
你焊料肯定能焊上
如果是金
那你焊料焊膏也可以焊上
但是如果电极
不做处理
完全是铝电极
你不可能通过焊料
把铝电极跟印制电路板上的
铜箔焊在一块去
铜电极焊在一块去
所以对芯片表面电极
必须做处理
做什么处理 做UBM处理
焊料下金属处理
怎么处理
就是这样
它肯定是三层
哪三层
最底下是个黏附层
第二层是个隔离层
或者是防扩散层
第三层是个接焊层
注意我说一遍
凸点下金属层它必须是三层
最表面上肯定是接焊层
就是焊接用的焊接用的是两个
一个是金凸点一个是焊料凸点
那么金凸点 焊料凸点
直接跟你铝肯定是不行的
焊不到一块去
那必须得铝表面
先做一个什么
黏附层 黏附层是什么
一般是钛 钨等等这些
钛 钨这些它形成氧化物的能力
跟铝形成氧化物的能力不相上下
因此钛 钨
就比较容易跟铝
通过氧化膜的作用
结合在一块去
但是钛或者钨
又跟接焊层 金
或者是焊料凸点又不能发生扩散
发生扩散还影响它的性能
因此中间有一个
防止扩散层一般是镍
在镍的上边再给它
想办法沉积或者电镀上什么
电镀上接焊层
接焊层是焊料
铅锡焊料或者锡焊料或者什么
金凸点
这个是经过电镀
它又必须有三层
凸点下金属物必须有三层
哪三层
第一层跟铝电极
相接触的是黏附层
是钛或者是钨
第二层是防扩散层是镍
第三层是接焊层
接焊层通过电镀
通过气相沉积的方法沉积在上边去
所以对芯片
你要想做倒装芯片
对芯片的电极
必须得预先处理
处理可以是
一个一个的晶片进行处理
也可以是在整个的硅圆片上
再附加一道处理
我们知道硅圆片
经过几百道工序
最后出来以后
分布电极一个一个的晶片
一个一个的晶片电路它上边有了
每个电路上都有电极
那么我不妨
在整个的硅圆片的情况下
给它再加大一道工序
先表面上做成钨 沉入钨 沉钛
沉上钨 沉钛以后
再搞上一层镍
镍上边再一层电镀层
再一层金层
这些作为集成电路的工序来讲
作为增加一道工序
并不费劲
然后以后再划片裂片
划片裂片以后注意看
这上边就变成这样子的
划片裂片就带凸点的了
有了凸点下边就好办了
通过回流焊你看
有了凸点以后
有了凸点了吧
有了凸点以后
经过回流焊以后就完全可以
印制电板这铜电极
给它结合到一块去了
结合到一块
也有各种方法了
这是利用FCB的连接方式
其他的方式也有了
但是总而言之
你想办法一定要形成凸点
一定想办法形成凸点
形成凸点以后才能跟下边
封装基板进行连接
形成凸点的办法
也除了搞成三层
接焊层或者什么东西
其他的方法也有
但是必须得形成凸点
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