当前课程知识点：材料现代研究方法 > 第十章 扫描电子显微镜 > 10.7 电子探针仪的分析方法及应用 > 电子探针仪的分析方法及应用
同学你好
我们这节课来学习
电子探针仪的分析方法及应用
首先来看一下
电子探针仪可以用于定性分析
其中包括定点分析
线分析和面分析
定点分析是将电子束固定在要分析的微区上
用波谱仪分析时
改变分光晶体和探测器的位置
即可以得到分析点的X射线谱线
若用能谱分析时
几分钟
即可直接从荧光屏上
得到微区内全部元素的谱线
由X射线图谱中特征X射线的波长或能量
确定分析点所含元素的种类
为物相鉴定
提供了依据
线分析
则是将谱仪
固定在所要测定的某一元素特征X射线信号上
使得电子束沿着指定的路径
做直线轨迹的扫描
这样就可以得到这一元素
沿着直线的浓度分布情况
线分析主要是用于分析界面处的元素扩散
而面分析
则是电子束在样品表面
做光栅扫描时
将X射线谱仪
固定在接收某一元素特征X射线信号的位置
这个时候
在荧光屏上
会得到该元素的面分布的图像
实际上
这也是扫描电镜中
用特征X射线调制图像的一种方法
图像中的亮区域
则表示这种元素的含量
是相对较高的
面分析
主要用于分析合金的成分偏聚
或是用于显示相的形状 尺寸和分布
我们再对定量分析做一个简介
可以先测出y元素的X射线的强度
Iy’
然后再在同样的条件下
测定纯元素y的
X射线的强度Iy0’
然后分别扣除背底
和计数器死时间对所测值的影响
得到相应的强度
Iy和Iy0
这样把两者相比所得到的强度比这个Ky
在理想的情况下
所得到的这个Ky
就是试样中y元素的质量浓度Cy
但是由于标准试样
不能做到绝对的纯
以及绝对的平均
一般情况下
还要考虑到原子序数吸收
以及二次荧光的影响
因此
这个Ky和Cy之间
是有一定的差别的
所以我们的Cy写作等于
Z乘以A乘以F乘以Ky这样的一个公式
定量分析计算是非常繁琐的
一般情况下
对于原子序数大于10
质量分数含量大于10%的元素来说
修正后的含量误差
可限定在正负5%之内
电子探针做微区分析时
所激发的作用体积
大约不过十个立方微米左右
如果分析物质的密度为
10克每立方厘米
则分析区域的质量
仅为10的-10次方克
如果探针仪的灵敏度为万分之一的话
则分析绝对质量
可达到10的-14次方克
因此
电子探针是一种微区分析的仪器
我们这节课就介绍到这里
-1.1 晶体、空间点阵及晶体学参数
-1.2 倒易点阵
--布拉菲点阵
-1.3 晶体的宏观对称
--晶体的宏观对称
-1.4 晶体的微观对称
--晶体的微观对称
-1.5 倒易点阵
--倒易点阵
-1.6 倒易点阵的应用
--倒易点阵的应用
-1.7 晶体投影
--晶体投影
-1.8 晶体投影的应用
--晶体投影的应用
-1.9 单晶体标准投影图
--单晶体标准投影图
-1.9 单晶体标准投影图--作业
-2.1 X射线的产生
--X射线的产生
-2.2 X射线与物质的相互作用
-2.3 X射线的吸收限与滤波片
-2.4 连续X射线
--连续X射线
-2.5 特征X射线
--特征X射线
-2.5 特征X射线--作业
-3.1 一个电子对X射线的散射
-3.2 一个原子对X射线的散射
-3.3 简单晶体对X 射线的衍射
-3.4 复杂晶体对X射线的衍射
-3.5 爱瓦德作图法
--爱瓦德作图法
-3.5 爱瓦德作图法--作业
-4.1 粉末照相法
--粉末照相法
-4.2 多晶衍射仪
--多晶衍射仪
-4.3 多晶体衍射峰特征
--多晶体衍射峰特征
-4.4 多晶体衍射峰强度
--多晶体衍射峰强度
-4.5 多晶体花样分析
--多晶体花样分析
-4.5 多晶体花样分析--作业
-5.1 晶块尺寸与微观应力的宽化
-5.2 晶胞常数的精确确定
-5.3 宏观应力的测定
--宏观应力的测定
-5.4 织构的表征
--织构的表征
-5.5 织构的测定
--织构的测定
-5.6 织构分析
--织构分析
-5.7 物相定性分析
--物相定性分析
-5.8 物相定量分析
--物相定量分析
-5.8 物相定量分析--作业
-6.1 电子波与电磁透镜
--电子波与电磁透镜
-6.2 电磁透镜的像差与分辨率
-6.3 电磁透镜的景深和焦长
-6.3 电磁透镜的景深和焦长--作业
-7.1 透射电子显微镜的结构与成像原理
-7.2 透射电子显微镜主要部件的结构与工作原理
-7.3 透射电子显微镜分辨率和放大倍数的测定
-7.4 透射电子显微镜样品制备
-7.4 透射电子显微镜样品制备--作业
-8.1 概述
--概述
-8.2 电子衍射原理
--电子衍射原理
-8.3 晶带定律与零层倒易截面
-8.4 倒易阵点的扩展与偏移矢量
-8.5 倒易阵点与电子衍射图的关系
-8.6 衍射斑点指数化
--衍射斑点指数化
-8.7 选区电子衍射
--选区电子衍射
-8.8 单晶电子衍射花样的标定
-8.9 复杂电子衍射花样的标定
-8.9 复杂电子衍射花样的标定--作业
-9.1 衍射衬度成像原理
--衍射衬度成像原理
-9.2 消光距离
--消光距离
-9.3 衍衬运动学
--衍衬运动学
-9.4 衍衬动力学简介
--衍衬动力学简介
-9.5 晶体缺陷分析
--晶体缺陷分析
-9.5 晶体缺陷分析--作业
-10.1 电子束与固体样品作用时产生的信号
-10.2 扫描电子显微镜的构造和工作原理
-10.3 扫描电子显微镜的主要性能
-10.4 表面形貌衬度原理及其应用
-10.5 原子序数衬度原理及其应用
-10.6 电子探针仪的结构与工作原理
-10.7 电子探针仪的分析方法及应用
-10.7 电子探针仪的分析方法及应用--作业
